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气浮导轨

发布时间:2022-06-01 21:10人气:

       气浮导轨简介
       气浮导轨基于气体静压技术,实现无摩擦、无振动的平滑直线往复运动。其利用气膜的匀化性能,介于导向轨的制作精度基础再次提升滑动部件的直线运行精度。可配备直线电机或伺服丝杆模组,实现自动控制驱动方式,外接直线光栅尺,可形成运动闭环反馈,实现精准定位。该产品广泛用于精密加工、光学测量、多轴精密设备的集成,晶圆检测、光栅刻线等领域。

      技术参数:

  • 直线度100mm<0.3um。
  • 供气压力0.4~0.6MPa。
  • 驱动方式丝杆驱动及直线电机驱动。
  • 外形可按照客户要求设计。

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